Smart sensors and MEMS : intelligent devices and microsystems for industrial applications

Smart sensors and MEMS : intelligent devices and microsystems for industrial applications

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Bibliographic Details
Main Author: Luque López, Antonio. (Directeur de la publication)
Other Authors: Nihtianov, Stoyan. (Directeur de la publication)
Format: E-Book
Language: Anglais
Published: Duxford : Woodhead Publishing, 2018.
Subjects:
Détecteurs à semiconducteurs > Applications industrielles.
Systèmes microélectromécaniques.
Detectors > Industrial applications.
Microelectromechanical systems > Industrial applications.
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