Smart sensors and MEMS : intelligent devices and microsystems for industrial applications

Smart sensors and MEMS : intelligent devices and microsystems for industrial applications

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Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter: Luque López, Antonio. (Directeur de la publication)
Andre forfattere: Nihtianov, Stoyan. (Directeur de la publication)
Format: E-Book
Sprog: Anglais
Udgivet: Duxford : Woodhead Publishing, 2018.
Fag:
Détecteurs à semiconducteurs > Applications industrielles.
Systèmes microélectromécaniques.
Detectors > Industrial applications.
Microelectromechanical systems > Industrial applications.
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