Handbook of silicon based MEMS materials and technologies

שמור ב:
מידע ביבליוגרפי
פורמט: E-Book
שפה: Anglais
יצא לאור: San Diego, CA : Elsevier Science, 2015.
Autres localisations: Voir dans le Sudoc
גישה מקוונת: Accès à l'E-book