Handbook of silicon based MEMS materials and technologies
Gorde:
| Formatua: | E-Book |
|---|---|
| Hizkuntza: | Anglais |
| Argitaratua: |
San Diego, CA :
Elsevier Science,
2015.
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| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Sarrera elektronikoa: | Accès à l'E-book |